同惠TH511半導(dǎo)體C-V特性分析儀

• TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是同惠電子針對(duì)半導(dǎo)體材料及器件生產(chǎn)與研發(fā)的分析儀器。

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀創(chuàng)新性地采用了雙CPU架構(gòu)、Linux底層系統(tǒng)、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內(nèi)置使用說(shuō)明及幫助等新一代技術(shù)，適用于生產(chǎn)線快速分選、自動(dòng)

  化集成測(cè)試及滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)及分析。

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀測(cè)試頻率為10kHz-2MHz， VGS電壓可達(dá)±40V，足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體件CV特性測(cè)試分析。

  得益于10.1英寸、分辨率達(dá)1280*800的電容式觸摸屏，TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀可將四個(gè)參數(shù)同屏顯示、所有設(shè)置、監(jiān)視、分選參數(shù)、狀態(tài)等可以在同一屏顯示，避免了頻繁的切換的操作。

  

  功能特點(diǎn)

  A.單點(diǎn)測(cè)試，10.1英寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細(xì)節(jié)一覽無(wú)遺

  10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率，Linux系統(tǒng)、中英文操作界面，支持鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、LAN接口，帶來(lái)了無(wú)以倫比的操作便捷性。

  MOSFET最重要的四個(gè)寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個(gè)界面直接顯示測(cè)量結(jié)果，并將四個(gè)參數(shù)測(cè)試等效電路圖同時(shí)顯示，一目了然。

  多至6個(gè)通道測(cè)量參數(shù)可快速調(diào)用，分選結(jié)果在同一界面直接顯示。

  

  B.列表測(cè)試，靈活組合

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)通道、4個(gè)測(cè)量參數(shù)的測(cè)試及分析，列表掃描模式支持不同通道、不同參數(shù)、不同測(cè)量條件任意組合，并可設(shè)置極限范圍，并顯示測(cè)量結(jié)果 。

  

  C.曲線掃描功能（選件）

  TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以對(duì)數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描，可同時(shí)顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 。

  

  D.簡(jiǎn)單快捷設(shè)置

  

  E.10檔分選及可編程HANDLER接口

  儀器提供了10檔分選，為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級(jí)提供了可能，分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口。

  在與自動(dòng)化設(shè)備連接時(shí)，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動(dòng)化客戶的難題，TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對(duì)應(yīng)信號(hào)、應(yīng)答方式等*可視化，讓自動(dòng)化連接更簡(jiǎn)單。

  

  F.支持定制化，智能固件升級(jí)方式

  同惠儀器對(duì)于客戶而言是開(kāi)放的，儀器所有接口、指令集均為開(kāi)放設(shè)計(jì)，客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制，定制功能若無(wú)硬件更改，可直接通過(guò)固件升級(jí)方式更新。

  儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級(jí)等，都可以通過(guò)升級(jí)固件(Firmware)來(lái)進(jìn)行更新，而無(wú)需返廠進(jìn)行。

  固件升級(jí)非常智能，可以通過(guò)系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行，智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤(pán)甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級(jí)包，并自動(dòng)進(jìn)行升級(jí)

  

  G.半導(dǎo)體元件寄生電容知識(shí)

  在高頻電路中，半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會(huì)影響半導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)特性，所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時(shí)需要考慮下列因數(shù)

  在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來(lái)的影響；MOS管的寄生電容會(huì)影響管子的動(dòng)作時(shí)間、驅(qū)動(dòng)能力和開(kāi)關(guān)損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴(lài)性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要，以MOSFET為例。

  

  H.標(biāo)配附件

  

  
  

• 應(yīng)用

• ■ 半導(dǎo)體元件/功率元件

  二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

  電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析

  ■ 半導(dǎo)體材料

  晶圓、C-V特性分析

  ■ 液晶材料

  彈性常數(shù)分析

  
  

• 同惠TH511半導(dǎo)體C-V特性分析儀技術(shù)參數(shù)

• 產(chǎn)品型號(hào)		TH511		TH512	TH513
  通道數(shù)		2（可選配4/6通道）			2
  顯示	顯示器	10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏
  	比例	16:9
  	分辨率	1280×RGB×800
  測(cè)量參數(shù)		CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數(shù)任意選擇
  測(cè)試頻率	范圍	10kHz-2MHz
  	精度	0.01%
  	分辨率	10mHz                                     1.00000kHz-9.99999kHz
  		100mHz                                   10.0000kHz-99.9999kHz
  		1Hz                                          100.000kHz-999.999kHz
  		10Hz                                        1.00000MHz-2.00000MHz
  測(cè)試電平	電壓范圍	5mVrms-2Vrms
  	準(zhǔn)確度	±（10%×設(shè)定值+2mV）
  	分辨率	1mVrms                                    5mVrms-1Vrms
  		10mVrms                                  1Vrms-2Vrms
  VGS電壓	范圍	0 - ±40V
  	準(zhǔn)確度	1%×設(shè)定電壓+8mV
  	分辨率	1mV                                           0V - ±10V
  		10mV                                        ±10V -±40V
  VDS電壓	范圍	0 - 200V		0 - 1500V	0 - 3000V
  	準(zhǔn)確度	1%×設(shè)定電壓+100mV
  輸出阻抗		100Ω，±2%@1kHz
  數(shù)學(xué)運(yùn)算		與標(biāo)稱(chēng)值的絕對(duì)偏差Δ，與標(biāo)稱(chēng)值的百分比偏差Δ%
  校準(zhǔn)功能		開(kāi)路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD
  測(cè)量平均		1-255次
  AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次）		快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms
  最高準(zhǔn)確度		0.1%（具體參考說(shuō)明書(shū)）
  CISS、COSS、CRSS		0.00001pF - 9.99999F
  Rg		0.001mΩ - 99.9999MΩ
  Δ%		±（0.000% -   999.9%）
  多功能參數(shù)列表掃描	點(diǎn)數(shù)	20點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù)，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選
  	參數(shù)	測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道
  	觸發(fā)模式	順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測(cè)量，/EOM/INDEX只輸出一次
  		步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

  圖形掃描	掃描點(diǎn)數(shù)		任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn)
  	結(jié)果顯示		同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
  	顯示范圍		實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定
  	坐標(biāo)標(biāo)尺		對(duì)數(shù)、線性
  	掃描參數(shù)		Vg、Vd
  	觸發(fā)方式	單次	手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描
  		連續(xù)	從起點(diǎn)到終點(diǎn)無(wú)限次循環(huán)掃描
  	結(jié)果保存		圖形、文件
  比較器	Bin分檔		10Bin、PASS、FAIL
  	Bin偏差設(shè)置		偏差值、百分偏差值、關(guān)
  	Bin模式		容差
  	Bin計(jì)數(shù)		0-99999
  	檔判別		每檔最多可設(shè)置四個(gè)參數(shù)極限范圍，四個(gè)測(cè)試參數(shù)結(jié)果設(shè)檔范圍內(nèi)顯示對(duì)應(yīng)檔號(hào)，超出設(shè)定最大檔號(hào)范圍則顯示FAIL，未設(shè)置上下限的測(cè)試參數(shù)自動(dòng)忽略檔判別
  	PASS/FAIL指示		滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈量
  存儲(chǔ)調(diào)用	內(nèi)部		約100M非易失存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)定文件
  	外置USB		測(cè)試設(shè)定文件、截屏圖形、記錄文件
  鍵盤(pán)鎖定			可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴(kuò)充
  接口	USB HOST		2個(gè)USB HOST接口，可同時(shí)接鼠標(biāo)、鍵盤(pán)，U盤(pán)同時(shí)只能使用一個(gè)
  	USB DEVICE		通用串行總線插座，小型B類(lèi)（4個(gè)接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。
  	LAN		10/100M以太網(wǎng)，8引腳，兩種速度選擇
  	HANDLER		用于Bin分檔信號(hào)輸出
  	RS232C		標(biāo)準(zhǔn)9針，交叉
  	RS485		可以接收改制或外接RS232轉(zhuǎn)RS485模塊
  開(kāi)機(jī)預(yù)熱時(shí)間			60分鐘
  輸入電壓			100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz
  功耗			不小于130VA
  尺寸（WxHxD）mm			430x177x405
  重量			16kg