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吉時利全自動半導體參數分析儀4200A-SCS參數分析儀
吉時利全自動半導體參數分析儀4200A-SCS參數分析儀
加快各類材料、半導體器件和*工藝的開發，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業內性能電學特性參數分析儀，提供同步電流電壓曲線測試(I-V曲線測試)、電容-電壓曲線測試(C-V曲線測試)和超快脈沖I-V曲線測量。
主要性能指標
I-V源測量單元(SMU)
●±210 V/100 mA或±210 V/1 A模塊
●100 fA測量分辨率
●選配前端放大器提供了0.1 fA測量分辨率
●10 mHz-10 Hz超低頻率電容測量
●四象限操作
●2線或4線連接
C-V多頻率電容單元(CVU)
●AC阻抗測量(C-V,C-f,C-t)
●1 kHz-10 MHz頻率范圍
●±30 V(60V差分)內置DC偏置源，可以擴展到±210 V(420 V差分)
●選配CVIV多功能開關，在I-V測量和C-V測量之間簡便切換
脈沖式I-V超快速脈沖測量單元(PMU)
●兩個獨立的或同步的高速脈沖I-V源和測量通道
●200 MSa/s，5 ns采樣率
●±40 V(80 V p-p)，±800 mA
●瞬態波形捕獲模式
●任意波形發生器Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率
高壓脈沖發生器單元(PGU)
●兩個高速脈沖電壓源通道
●±40 V(80 V p-p)，±800 mA
●任意波形發生器Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10ns可編程分辨率
-V/C-V多開關模塊(CVIV)
●在I-V測量和C-V測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
●把C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針
遠程前端放大器/開關模塊(RPM)
●在I-V測量、C-V測量和超快速脈沖I-V測量之間自動切換
●把4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
●降低電纜電容效應
4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件
4200A-SCS：參數分析儀主機
4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率SMU
4200-PA：一個預放大器
8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具
4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件
4200A-SCS：參數分析儀主機
4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率SMU
4200-PA：一個預放大器
4215-CVU：一個高分辨率多頻C-V單元
8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具
4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件
4200A-SCS：參數分析儀主機
4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率SMU
4211-SMU：兩個用于高容量設置的高功率SMU
4200-PA：兩個預放大器
4215-CVU：一個高分辨率多頻C-V單元
8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具
4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件
用于使用硅CMOS技術進行的復雜NBTI和PBTI測量
4200-BTI-A套件包括：
1個4225-PMU超快I-V模塊
2個4225-RPM遠程預放大器/開關模塊
自動化檢定套件(ACS)軟件
超快BTI測試項目模塊布線
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